NOVACAMCHINA | 诺飞勘中国

MICROCAM™-3D/4D‍干涉仪

用于高精度非接触式表面和厚度测量

作为任何NOVACAM^TM 3D 计量系统的核心组件，MICROCAM^TM-3D/4D 干涉仪为光学扫描探头提供光源并执行测量的光学和电子处理。

NOVACAM干涉仪MICROCAM-3D 和 MICROCAM-4D 提供：

l 微米级精度3D 测量——粗糙度、几何形状（GD&T 参数）、厚度、振动、缺陷

l 高达100 kHz 的快速采集速率，即每秒 100,000 次 3D 点测量

l 测量不受环境照明、空气扰动或光束切割的影响

l 部署的模块化和多功能性，基于光纤的光学探头可以集成在运动平台、机器人、龙门架、CMM 和 CNC 上。

l 潜在技术——低相干干涉测量法提供了许多额外的优势。

一系列基于NOVACAM 光纤的光学探头可用于在广泛的工业检测应用中，并提供非接触式表面和横截面测量。

MICROCAM™-3D/4D

轮廓仪用于高精度非接触式3D测量

MICROCAM™-3D/4D 轮廓仪提供：

· 微米级精度 3D 测量；

· 尺寸几何 – GD&T参数；

· 粗糙度测量；

· 缺陷检测——裂纹、划痕；

· 半透明材料的厚度测量

扫描难以触及的表面的选项：

侧视探头扫描内孔 ID 和其他狭小空间；

前视探头也可用基于光纤的探针易于与精密平台、第三方 CMM、CNC 机器或机器人集成，以支持大批量连续流制造；

完全可配置的自动检测；

值得注意的是，同一探头可用于测量尺寸、粗糙度、缺陷和/或厚度。

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概述

应用

图像

技术指标

附件

系统组成

特征与优点概述

测量

光学、非接触、非破坏性
高速：每秒高达100,000 次 3D 点测量
微米分辨率，出色的信噪比
2D 和 3D 表面和表面以下的表征
尺寸、粗糙度、缺陷、厚度
长行程轮廓测量

成像

表面轮廓
交叉区域
体积图像
基于光纤的探头
检查内部孔、管和裂缝
为高速在线检测提供多功能性

优点

l 材料范围广：金属、塑料、聚合物、玻璃、金属涂料、硅胶、粘合剂；反射、透明、半透明、镜面反射、非镜面反射

l 广泛的表面范围：被测物体可以是静止的或移动的、固体或液体的，包括孔和管的内部、圆柱体的外部、凹凸球形

l 小直径探头伸入以测量孔和小直径管的内部

l 测量高纵横比特征：底切、交叉孔、倒角、膛线、螺纹、O 形环槽和边缘

l 缩短检测周期时间：每秒最多100,000 次测量，每次测量代表一个 3D 地形点

l 设置的多功能性：非接触式探头工作距离表面最远1 m，距离干涉仪数米

l 连续、长轮廓扫描：无需区域拼接

l 评估检查零件的灵活选项：测量的特征可以与CAD 图纸或用户定义的一组位置、标称和公差进行比较

l 简单的扫描定义和执行：通过操纵杆示教系统一次定义扫描顺序。稍后可以通过按下按钮执行扫描序列。

l 省时的自动报告：扫描后，可以生成不合格报告，并以与行业标准机制兼容的方式记录结果

l 轻松集成到实验室、车间或全自动检测装置中：探头可以安装在XY 工作台、多轴扫描机构、加工中心内部、移动卷筒上方、机器人头部等。

l 适应恶劣环境：放射性、极热、低温、真空等。

l 无需消耗品：光学探头不与被测样品接触，因此不会像接触式探头那样磨损

l USB 连接，用于将数据从干涉仪传输到 PC 或笔记本电脑

l 可选择将多个探头与单个干涉仪进行复用，以获得额外的投资回报(ROI)

典型测量

尺寸：GD&T（几何尺寸和公差）参数
表面粗糙度：（Ra、Rq、Rsk、Rku、Rv等），
厚度：单层或多层薄膜、涂层
体积损失：部件磨损或其他损坏
高纵横比特征：台阶、孔、凹槽、通道
难以到达的空间：钻孔内部、小孔径管等。
恶劣环境中的轮廓测量：放射性、低温、非常热
长行程型材

用于工业和研发的3D测量和成像

质量控制
在线3D 生产检验，GD&T
统计过程控制SPC
研发

粗糙度测量-2D，3D以及高度和强度图像

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厚度测量-单层或多层，透明或半透明材料

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尺寸测量

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缺陷测量

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振动测量

干涉仪功能参数

	MICROCAM™-3D	MICROCAM™-4D
技术	低相干干涉法
光源波长	1310 nm，红外
光源带宽	宽带光源
校准指示器	测头内置红色激光器，650nm
仪器安全¹	红外激光＜20mW ,测头内置红色激光指示器＜5mW

景深	取决于所选测头的参数
扫描深度范围²	3.5mm/7mm	5mm
采集率	2.1kHz/1.05kHz	100kHz
Z轴分辨率³	＜0.5um
光斑大小³（水平方向分辨率）	2.2-146um，取决于所选测头的参数

粗糙度测量范围 Ra	常规测头Ra≥0.4um, 特定测头Ra≥0.05um	常规测头Ra≥0.8um
工作距离	标准测头 1-100mm, 非标测头长达 1m
干涉仪重复性⁴	＜ 1um	＜ 2um
直径测量重复性（1σ）	0.5-1um，取决于配置	1-3um，取决于配置
测头光束到工件表面的最大角度	机械加工表面 ≤45°，特定表面（玻璃，镜面等）≤4°	机械加工表面 ≤70°，特定表面（玻璃，镜面等）≤15°

厚度测量	10um-3.5um/ 10um-7um	20um – 5 mm
厚度测量典型材料	玻璃，聚合物，多层膜，涂层，塑料，硅树脂，液体，镜面或非镜面
样件反射率	0.1-100%

备注：

1.等级1M激光产品：可见和不可见激光辐射线。请勿直视光束或使用光学仪器直接观察。

2.为了增加最大的扫描深度，可选择机械位移轴。

3.光斑大小和轴向分辨率是相互独立的。

4.这里所讲的重复性从属于非扫描系统。运动机构的重复性值通常会大些，这个可以通过使用玻璃参考板进行有效的解决。

MICROCAM™-3D/4D附件

附件包括基于光纤的光学探头（4种基本类型和定制探头）和光学开关硬件，

该硬件可将多个探头复用到一个干涉仪上。

光学探头

前视探头

· 探头直径从0.55mm到30.5mm

· 工作距离从0.5mm到140mm

· 用于诺飞勘光学3D轮廓仪

侧视探头

· 用于难以到达的空间的测量

· 探头直径从0.55mm到30.55mm

· 探头长度从75mm到300mm

· 用于诺飞勘光学3D轮廓仪和TUBEINSPECT™ 系列

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旋转扫描仪（RS）探头

· 用于难以到达的空间（孔，管等）的测量

· 3种型号：RS0，RS1，RS2

· 探头直径从0.55mm到17.8mm

· 最高30转/秒（1800 RPM）

· 用于诺飞勘BOREINSPECT™系列和RIVETINSPECT™系列

振镜（GS）探头

· 以光栅图案进行有效的区域或带状扫描

· 视场从5×5mm到90×90mm

· 工作距离从7.5mm到215mm

· 用于诺飞勘SURFACEINSPECT™系列，EDGEINSPECT™ 系列‍和‍RIVETINSPECT™系列

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定制探针

诺飞勘还可根据需要设计和制造定制探针。这些可以是：

· 非标直径和长度的前视和侧视探头

· 非标光束角度的侧视和旋转探头

· 用于极端温度，高压，放射性环境或其他恶劣环境的定制探头。

与多个探头一起使用的光开关

光学开关可用于将多达8个探头多路复用到一个干涉仪。通过这种配置，一个探针可以一次扫描。

前瞻性和侧面性探针的示例

带有4.5mm直径探头的旋转扫描仪RS2

振镜扫描仪GS1和GS2

基于光纤的光学探头

标准探头

· 标准探头：直径18 mm，前视或侧视（90º）

· 标准小直径探头：直径1.05,2.4,3.05或4.6 mm，前视或侧视（90º）

定制探针
诺飞勘根据需要设计和构建定制探针。这些可以是：

· 超小，直径小至0.5毫米

· 旋转

· 超长到达难以到达的空间

· 与电流计结合使用，可实现高效区域或条带扫描

· 坚固耐用，适用于高温和极端环境

实验室检查站

对于实验室和QA应用：

· 探头位移在2,3或4轴的检查站

· 花岗岩表可选，适用于某些应用程序

探头可以与第三方CMM（坐标测量机），CNC（计算机数字控制）机器或任何机器人集成。

诺飞勘根据需要设计和制造定制台式夹具。

内联探头夹具

可以完成Web扫描

· 使用单个扫描探针移动穿过网络或

· 具有多个固定探头，通过光学开关复用。

诺飞勘根据需要设计和制造定制直列式夹具。

用于多个探头的光学开关

· 光学开关可用于将多达8个探头多路复用到单个干涉仪。

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