| 厚度 高精度非接触式厚度测量 诺飞勘计量系统可对透明和半透明材料进行快速可靠的非接触式厚度测量。他们提供: · 精度优于1μm · 薄膜,单层薄膜或多层薄膜的厚度测量 · 薄膜和薄膜叠层: 厚度从10微米到几毫米。对于基板和整个薄膜叠层同时获得厚度测量值。 · 高速扫描:每秒采集2,100到100,000点(配置文件) · 为自动报告或可视化获取的数据:深度剖面图,2D横截面(B扫描)和3D体积图像(C扫描) 测量的材料可以是反射的或非反射的,平滑的或粗糙的,静止的或移动的。如果需要,也可以计算折射率 (IR)。可以在厚度的同时获得表面或亚表面粗糙度,形状或形貌。见更多的是我们可以衡量。 使用光纤探针测量的优点 诺飞勘计量系统将低相干干涉测量(LCI)技术与基于光纤的模块化设计相结合,意味着: · 使用基于光纤的非接触式光学探针进行测量 · 采集的数据通过长达1千米的光纤发送到信号处理探测器盒(干涉仪)。 诺飞勘设计的优势包括: · 配置多功能性,适用于台式和过程检测 · 支持自动化 · 能够获得长的配置文件 · 能够测量小直径管,孔等内部的粗糙度。 请参见难以触及的空间中的检查。 · 即使在极端温度或辐射下也能测量厚度。 请参阅恶劣环境中的检查。 查看基于光纤的LCI系统的更完整的优势列表。 高级管材的多层厚度测量 在挤出过程中必须密切监控高级聚合物管材,使尺寸始终遵守严格的规格。 为了监测挤压医用导管管(直径<1.5 mm)的质量,在挤出机出口处安装了非接触式光学探头(见图)。 通过这种设置,可以连续获得横截面尺寸,并建立有效的生产控制回路: · 探头获得前进细管的厚度作为长轮廓 - 每秒高达100,000点(A扫描) · 每次A扫描都可以提供上壁,封闭空间和下壁的光学厚度 · 应用软件将光学数据转换为管道的物理尺寸。图表下方的表格显示了管道尺寸以及从单次A扫描计 算的折射率(IR) · 横截面尺寸数据流式传输到过程控制软件,该软件可实时调整挤出机参数。 实时连续检测可减少挤出机的停机时间,减少材料浪费,并降低总体生产成本。 探测多路复用以获得额外的ROI 几种基于光纤的探头可以复用到单个探测器(低相干干涉仪),以便在生产线的不同方面同时进行厚度测量。 例如,可以通过在挤出机出口处添加第二个探针来扩展上面的管检查设置(右图)。通过这种方式,操作员 能够连续监测两个轴的管尺寸,实现更高的质量控制,同时最大限度地减少额外投资。 在右侧的例子中也使用了将两个探针复用到一个干涉仪。 连续测量光纤及其涂层诺飞勘的系统已经用于生产光纤数年。 在这个特定的设置(右边的照片)中,两个扫描光学探头(多路复用到单个干涉仪)彼此成直角并连接到连续 移动的光纤。该纤维具有两层半透明涂层,其厚度必须保持均匀。 下面的视频显示了用户显示的实时测量值,这些测量值将根据用户要求转发到应用程序软件并进行记录。作为生 产质量控制的一部分,横截面数据(两个涂层的纤维,蓝色和绿色显示为红色)按编程方式与用户指定的标准进行比较。
各行业的厚度测量应用 诺飞勘的计量系统可以在各个领域获得厚度: · 眼科学:检查常规或眼内隐形眼镜 · 半导体: MEMS器件,半导体,混合电路,燃料和太阳能电池上的涂层 · 航空和汽车:保护膜 · 光学:波导上的蚀刻和沉积厚度 · 电子学:电子晶圆上的厚膜光刻胶涂层 · 生物医学:保护设备免受腐蚀或患者并发症的涂层 · 其他:保形涂层,保护工具涂层,真空镀膜
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