诺飞勘3D测量系统与激光诱导击穿光谱（LIBS）技术相结合，可以测量非透明涂层的厚度。
LIBS装置脉冲强大的激光束聚焦在样品上，使一些材料蒸发，然后对产生的等离子体进行
光谱分析。诺飞勘的3D测量系统基于低相干干涉测量，可以测量材料被去除的深度。由于
两种技术的光源在相同的范围内，因此使用共同的光路配置构造了定制的装置。这些器件
非常适合测量不透明的涂层厚度。
