高纵横比表面特征的非接触式测量

        诺飞勘3D测量系统可以可靠地表征具有高纵横比特征的表面，例如台阶，凹槽，通道和沟槽。

系统提供：

· 非接触式共线扫描：发射和接收的光信号沿相同的路径传播，不需要三角测量；

· 高速表面采集：每秒2,100至100,000个3D点；

· 亚微米分辨率；

· 比三角测量传感器和颜色共焦系统具有更高的灵敏度。

使用光纤探针测量的优点

     诺飞勘计量系统将低相干干涉测量（LCI）技术与基于光纤的模块化设计相结合，意味着：

· 使用基于光纤的非接触式光学探针进行测量；

· 采集的数据可通过长达1千米的光纤发送到信号处理探测器盒（干涉仪）。

     诺飞勘设计的优势包括：

· 配置多功能性，适用于检测台和过程检测；

· 支持自动化；

· 能够获得长的剖面轮廓；

· 能够在小直径管，孔等内部进行测量。请参见难以触及的空间内的检测‍。

· 即使在极端温度或辐射下也能够测量。请参阅恶劣环境中的检测。

半导体领域的例子

　   应用：CMP（化学机械抛光）抛光垫的测量，用于晶圆抛光。CMP垫是由多孔聚合物材料制成

并且具有高纵横通道图案的昂贵耗材。通道的位置，宽度和高度严重影响CMP抛光垫的抛光性能。

     诺飞勘的计量系统用于在抛光垫加工过程中测量CMP抛光垫沟槽的位置，宽度和高度。测量过程直

接集成到CMP抛光垫加工工作台中。它有助于优化更换钻头的时间，从而降低工艺成本。一旦在CMP工艺中部署，也可以使用与测量研磨垫相同的系统来测量研磨垫的状况，以确定研磨垫调整的最佳时机。

测量系统：MICROCAM™-3D/4D‍（用于线扫描）或 SURFACEINSPECT™系列‍（用于区域扫描）

航空航天领域的例子

应用：喷气发动机涡轮定子叶片上的EDM加工盲槽。槽长约30mm，宽0.4mm，深约1.8mm。

测量系统：SURFACEINSPECT™系列

更多细节：参考EDM和激光加工应用页面的3D测量

金属加工/工具维护领域

应用：边缘半径测量

测量系统：EDGEINSPECT™ 系列

更多细节：参考边缘半径测量应用页面

视频：“ 边缘半径测量”（00:01:53）

其他应用

    诺飞勘系统可在许多高精度行业中测量具有高纵横比特征的表面：

· 航空航天：叶片（整体叶片转子或IBR），涡轮机，冷却孔

· 汽车：燃油喷射器喷嘴

· 牙科：牙科修复检查

· 电子产品

· 燃料和太阳能电池生产：双极板

· 医疗器械：工具边缘，带内螺纹或特征的整形外科植入物

· 微加工：边缘，孔，O形环槽

· 刀具生产：刀具制造和质量控制